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探针卡定制-悬臂式探针卡
简述:
探针卡(probe card)是晶圆测试(wafer test)中被测芯片(chip)和测试机之间的桥梁。悬臂式针卡因其弯针后的形态像一个“悬吊着的手臂”而得名“悬臂式”。
功能与特点 技术参数
     悬臂探针卡主要由PCB、探针及功能部件等组成,根据不同的情况,还会有电子元件、补强板(Stiffener)等的需求。悬臂针卡还包含针环(Ring)、环氧(Epoxy)等。

     测试探针材料的选用,必须考虑芯片焊区PAD大小和材料。悬臂针卡常用的针材质:钨(W),铼钨(ReW, 3%R 97%W),铍铜(BeCu),P7(P),钯合金(Pd),钨具有高强度,可以轻易刺破焊区与凸点氧化铝层,降低接触阻抗,但具有较强的破坏性,不适用于薄膜的测试场合;铍铜合金一般应用在镀金的芯片焊区或凸点,提供比钨更低的接触阻抗,但是探针硬度不如钨离,因此磨耗比较快;至于钯合金性质类似于铍铜合金,有比钨更低的接触阻抗, 最大的优点是可以用电镀方式来制作探针。其中钨铼合金的接触电阻比钨稍高,抗疲劳性相似。由于钨铼合金的晶格结构比钨更加紧密,其测试探针顶端的平面更加光滑。因此,这些测试探针顶端被污染的可能性更小,更容易淸洁,其接触电阻也比钨更加稳定。所以钨铢合金是一种更佳的选择。

     PCB是承载针、环、功能部件的载体,并实现针尖与测试机的信号传递,其外形、尺寸等受接口方式制约,材质受测试环境制约,所对应的外形一般是方形和圆形。

     

     悬臂探针卡使用较普及,先将悬臂针按一定角度,长度弯曲后,再用环氧树脂固定,针位较稳定。

主要优点:

多种探针尺寸,多元探针材质
摆针形式灵活,单层,多层针均可
造价低廉,可更换单根探针
也用于大电流测试


探针卡使用的注意事项

1.接触时要注意避免机械损伤:探针卡的接触部分很容易受到机械损伤,使用时需要注意避免受到撞击或弯曲等损伤。

2.防止高温和潮湿环境:探针卡需要在干燥、温度适宜的环境下使用,避免高温和潮湿环境对其造成损坏。

探针卡定制需客户提供Wafter样品以及PAD的坐标数据。


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悬臂探针卡的主要设计参数
针位:+/-0.25mil
水平:+/-0.25mil
针压:2-3g/mil+/-20%
漏电流:10nA/5V
接触电阻:3/20mA

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