A-WD-100技术规格

1．適用工件尺寸
（１）長方形：      ：  ２４０ × １８０ｍｍ
（２）円  形        ：  φ２５ ｍｍ（φ１”）～φ２４０ ｍｍ
（３）正方形       ：  □２１２ｍｍ
2． 適用切割盤尺寸
（１）φ5” ～ φ8”切割盤
3． 主軸
（１）種類          ： 直流無刷伺服馬達内置式空気主軸
（２）転数                 ：  5,000～45,000/MIN（選項5,000～60,000/MIN）
（３）最大輸出        ：  900Ｗ（相当于異歩電動機1300W）
                       （選項１８,０００W）
（４）冷却        ： 水冷（附流量伝感器）
（５）適用刀片        ：  最大φ80  
4．Ｘ軸
（１）移動行程      ： 400mm
（２）切劃行程      ： 280mm
（３）切劃速度      ： 0.1～450mm/s
（４）分辨率       ： 0.002mm

（５）移動真直度         ： 0.003mm／240mm（水平、真直）
（６）導軌種類      ： 直線導軌
（７）駆動方式      ： 交流伺服馬達／球状絲杆      
5．Ｙ軸
（１）可切劃範囲    ： 240mm
（２）移動速度     ： MAX 80mm/s
（３）分辨率      ： 0.0002mm
（４）INDEX 単一精度  ： 0.003mm
（５）INDEX 累積精度    ： 0.005mm（閉環控制功能時0.002mm）

（６）天平分辨率    ： 無 （閉環控制功能時0.0001mm）
（７）真直度                 ：0.004mm／240mm（水平、垂直）
（８）導軌及駆動方式  ：直線導軌／球状絲杆
（９）馬達       ：歩進馬達
6．Ｚ軸
（１）有効行程       ： 35mm
（２）分辨率      ： 0.0001mm
（３）重複精度     ： 0.001mm
（４）最高運行速度   ： 40mm/s
（５）導軌及駆動方式  ： 直線導軌／球状絲杆
（６）馬達及控制    ： 歩進馬達／編碼器
7．θ軸
（１）円台
        台面平整度 ： 0.003mm/140mm
（２）旋転範囲       ： 0°～290°
（３）最小角度設定範囲   ： 0.00018°（0.648"）
（４）旋転速度       ： 1.1sec/90°
（５）90°退回精度    ： 15秒以下
（６）駆動方式       ： 諧波駆動
（７）馬達      -  ： 歩進馬達 
8． 切劃工作台
（１）８”円形工作台
       台面平整度  ： 10um
9． 顕微鏡
（1）形式            ： ２分割視域
（２）綜合倍率 顕示屏上  ： ×２４７（選項：×１４８．５）
        目鏡部   ： ×５０ （選項：×３０）

（３）顕示屏尺寸／色彩   ：1５"CRT／彩色
（４）物鏡間隔       ： ４０ mm
（５）視野範囲   目鏡部位  ： φ4.6mm（物鏡×５）
              ： φ7.6mm（選項物鏡×３、安装時）
        顕示屏   ： 0.7×0.6ｍｍ（物鏡×５）
               1.1×1.0ｍｍ（選項物鏡×３、安装時）
（６）照明           ： 同軸  （選項：環状照明）
10．法蘭蓋噴嘴部
（１）切劃水用噴嘴（附流量表）
（２）刀片冷却水用噴嘴×２（附流量表）

11．其他数拠
・電源
（１）輸入電源       ：  AC200V±10％ 三相50/60Hz
（内置能対応200/220/240/380/415V±10％的変圧器、接線頭転換訂貨時請指定、出廠前完成設定）
（２）消耗電力    ：  2.0ｋVA（Max）
（３）電源接頭      ：  機器本身内置変圧器断路器接頭（接頭尺寸M5）
・空気源
（１）圧力             ：  0.5～0.7MPa
（２）消耗量          ：  230L/min（平均、但空気自噴除外）
（３）接口           ：  Rc（PT）3/8”陰
（４）温度             ：  20～25℃
（５）結露点          ：  ‐15℃以下
（６）残留油分       ：  0.1PPM Wt/Wt
・主軸冷却水
（１）圧力             ：  0.2～0.5MPa
（２）消耗量          ：  1.5L/min（自来水可）
（３）接口           ：  Rc（PT）3/8” 陰
（４）温度             ：  20～25℃
（５）循環水     ：  按標準準備

・切劃水
（１）圧力        ： 0.2～0.5Mpa
（２）流量設定範囲    ： 0.2～3.0 L/min（純水）
（３）接口          ： Rc(PT) 3/8”陰
（４）温度          ： 20～25℃
（５）流量                   ：   最大5.0L/min（光学測高時加0.5L/min）
・排水
（１）接口          ：  供50mm導管用
（２）排水量                ：  MAX 10L/min
・排気
（１）排気量           ： ４～５m3/min以上
（２）接口          ： 供100mm導管用
・主要尺寸                   ：   800(W)×1170(D)×1300(H) （不包含顕示屏突起部分）
・重量                         ：   700kg
・油漆顔色                   ：   最後一道為不銹鋼色
・使用環境
（１）温度        ：  25℃±5℃
（２）湿度        ：  50％±20％（無結露）
（３）其他      ：  振動、電気噪音較少的地方

・保証精度的温度条件
：室温、空気源、冷却水、切劃水的温度変化幅度均保持在±1℃以内
：冷却水和切劃水的温差保持在2℃以内